SiC材料・プロセス研究開発センター
SiC材料・プロセス研究開発研究センター
センター長
- 大谷 昇(理工学部教授)
OHTANI Noboru
研究員
- 大谷 昇(理工学部教授)
- 金子 忠昭(センター副長:理工学部教授)
- 西谷 滋人(理工学部教授)
- 玉井 尚登(理工学部教授)
- 尾崎 幸洋(理工学部教授)
研究目的
革新的な省エネルギー技術の一つとされる炭化ケイ素(SiC)半導体の材料・プロセス技術の開発に挑戦し、「サステイナブル(持続可能)」な社会の実現に貢献していく。
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