ENGLISHナノ界面創生・評価サイクル研究センター
オープン・リサーチ・センター整備事業
研究代表者： 高橋 功 理工学部 教授
研究プロジェクト名
ナノ薄膜・表面・界面構造の創生と、迅速・超精密構造評価からなる正のサイクル・システムの構築
研究内容
当センターでは半導体、金属、誘電体から高分子・ゲル、生体膜などのソフトマターにいたる薄膜・表面・界面の創生と、大型放射光施設（SPring-8）を活用した表面・界面構造の決定を行っております。現在Ｘ線装置のメーカーや表面分析・解析の企業との連携を行っています。企業サイドで新規な薄膜、特異な表面・界面構造を有すると思われる物質があれば、測定アドバイス等のご相談に応じます。
産業界との連携
これまでの研究成果で当センターが提唱するナノ・リソグラフィーを半導体基板上で実証し、三次元ナノ構造の試作までに至りました。これが複数の特許出願につながり、企業等との大きな共同研究のきっかけともなっています。
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